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KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應用

起訂量： 面議
價　格： 面議
品牌： KRI
供貨總量： 面議
發貨期限： 自買家付款之日起 3 天內發貨
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2023-05-04 12:00
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公司基本資料信息
伯東企業(上海)有限公司
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地區上海
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    上海

上海伯東美國 KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應用
上海伯東美國 KRi 考夫曼品** RF 射頻離子源, 無需燈絲提供高能量, 低濃度的寬束離子束, 離子束轟擊濺射目標, 濺射的原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, IBSD 離子束濺射沉積 和  IBD 離子束沉積是其典型的應用.
KRi 離子源


KRi 離子源在 IBSD 離子束濺射沉積應用
通常安裝兩個離子源
主要濺射沉積源和二次預清潔 / 離子輔助源
一次氣源為惰性氣體, 二次氣源為惰性或反應性氣體
基板

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