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小型磁控射頻濺射鍍膜儀

起訂量: 面議
價 格: 面議
品牌: 小型磁控射頻濺射鍍膜儀
供貨總量: 面議
發貨期限: 自買家付款之日起 3 天內發貨
所在地: 河南鄭州市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2022-04-13 11:55
關注人數: 2165
公司基本資料信息
河南泰興糧機
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地區河南 鄭州市
地址河南省鄭州市高新區蓮花街河南工業大學工程訓練中心
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    小型磁控射頻濺射鍍膜儀
  • 發貨期限:
    自買家付款之日起 3 天內發貨
  • 所在地:
    河南鄭州市
小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型),配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設備主要用于制作非導電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導電薄膜的探索,它是一款廉價并且高效的實驗幫手。  
我們用此設備得到擇**取向的ZnO薄膜  
技術參數  
輸入電源  
220VAC50/60Hz,單相  
800W(包括真空泵)  
等離子源  
一個100W,13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內  
配有一13.5MHz,100W的射頻電源(采用手動匹配)  
可選配300W射頻電源(自動匹配)  
注意:100W手動調節的RF(射頻)電源價格較低,但是每一次對于不同的靶材,都需要手動設置參數才能產生等離子體,比較耗費時間。300W自動匹配的RF(射頻)電源,價格較昂貴,但比較節約時間。  
(點擊圖片查看詳細資料)  
磁控濺射頭  
一個1英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接  
靶材尺寸:直徑為25.4mm,zui大厚度3mm  
一個快速擋板安裝在法蘭上(手動操作,見圖左3)  
濺射頭所需冷卻水:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環水冷機)  
同時可選配2英寸濺射頭  
選配2英寸濺射頭靶材尺寸:直徑為50.8mm,zui大厚度6mm  
真空腔體  
真空腔體:160mmODx150mmIDx250mmH,采用高純石英制作  
密封法蘭:直徑為165mm.采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封  
一個不銹鋼網罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體  
真空度:<1.0*10-2Torr(采用雙極旋片真空泵)  
<5*10-5torr(采渦旋分子泵)  
載樣臺  
載樣臺可旋轉(為了制膜更加均勻)并可加熱  
載樣臺尺寸:直徑50mm(zui大可放置2英寸的基片)  
旋轉速度:1-20rpm  
樣品臺的zui高加熱溫度為700℃(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500℃  
控溫精度+/-10℃
本產品信息由中美合資合肥科晶材料技術有限公司整理發布,更多關于小型磁控射頻濺射鍍膜儀的信息請訪問:
http://www.kjmti.com.cn/SonList-1290263.html 
https://www.chem17.com/st152911/product_24001323.html 

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